Micro LED巨量轉移設備
該設備用於Micro LED的巨量轉移工藝，採用高性能激光器，配合自主研發光學系統、上下基板對位系統，可很好地實現晶粒批量轉移，保證加工品質及效率。
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01設備配備高精度運動平台及高精密調節平台，上下基板一鍵調平，保證產品轉移精度
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02設備配備高性能紫外激光器，自主開發高指向性光路系統，光斑大小可調，可應對不同尺寸產品的轉移
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03設備採用高精度振鏡加遠心場鏡加工系統，加工效率高，可進行選擇性轉移，靈活度高
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設備展示
基本信息
- 1. 適用產品：Micro LED晶圓轉移
- 2. 激光器：定製紅外激光器
- 3. 可鍵合晶粒尺寸：10×10μm-100×100μm
- 4. 轉移精度：偏轉角度＜±2° 落位精度＜±2μm
- 5. 加工方式：全自動
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